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真空与低温  2016, Vol. 22 Issue (2): 111-113    DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2016.02.010
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径流分子泵在多弧离子镀膜设备的最新应用
张永胜,储继国
1. 亚智系统科技(苏州)有限公司,江苏苏州215011;
2.深圳大学,深圳518060
THE NEW APPLICATIONG OF RADIAL MOLECULAR PUMPS(RMP)ON ARC ION PLATING COATERS
ZHANG Yong-sheng,CHU Ji-guo
1. Manz Coating GmbH,Suzhou Jiangsu 215011,China;
2. Shenzhen University,Shenzhen 518060,China
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