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真空与低温  2016, Vol. 22 Issue (2): 114-118    DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2016.02.011
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甲烷浓度对于金刚石膜二次形核的影响
王小安,汪建华,翁俊,黄平
武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
INFLUENCE OF METHANE CONCENTRATION ON RENUCLEATION IN DIAMOND FILMS
WANG Xiao-an,WANG Jian-hua,WENG Jun,HUANG Ping
Provincial Key Laboratory of Plasma Chemistry and Advanced Materials,School of Materials Science and Engineering,Wuhan Institute of Technology
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