表面工程重点实验室与芬兰BENEQ公司人员进行交流

来源：本站    时间：2007-11-22    点击数：

    应我所表面工程重点实验室邀请，芬兰BENEQ公司首席技术官员 TOMMI VAINIO博士和销售经理JUHA TANSKANEN一行于11月15日来所就合作开发原子层沉积设备的有关问题进行了交流。
    BENEQ公司是世界著名的代表原子层沉积技术最先进水平的知名公司，主要从事原子层沉积技术及其设备开发研究。在本次交流中，TOMMI VAINIO博士介绍了公司的发展历程、公司的发展方向、公司在原子层沉积技术和设备、工艺研发所取得的成绩。我所科技人员表达了开展原子层沉积技术研究的意愿，向TOMMI VAINIO博士请教了该技术的细节问题。TOMMI VAINIO博士表示，国内原子层沉积技术研究刚刚开始起步，拥有广阔的发展空间，希望与本所展开深入合作。（李锦磊）